UHP气体管道材料介绍（转自半导体技术天地）
原文来自于材料供应商
A 超纯,洁净管道系统
20 多年前,半导体,集成电路,生物制药行业输送纯净介质(气体)的管路采用的管道还是普通的不锈钢管道,虽然管道的材料和安装成本较低,但良率(合格率)却很低。更严重的问题是:随着芯片集成度的提高,线宽的越来越小,对传输气体和介质的管路提出更高的要求,管路的质量成了制约芯片产量和集成度提高的瓶颈。通过对管道系统的改进，芯片集成度，产量有了很大的提高，高科技产业在这几年有了飞速发展。
B 超纯,洁净管道系统的真正含义
半导体,集成电路,生物制约行业输送纯净介质(气体)的高纯管路是一种综合考虑组织安定性,耐蚀性,加工性的优化不锈钢管。要确保系统中立,我们要强调表面粗糙度Ra 值和自身的洁净,使颗粒发生和堆积滞留得到抑止。为了确保可焊接性及焊接质量,要求保证尺寸公差,母材的化学成分。这样才能确保在焊接时降低烟气的发生,颗粒的产生及提高焊接部位的耐蚀性和平滑性。总而言之, 高纯管路既要有漂亮的外表 (外在的纯净), 又要有货真价实的材质 (内在的纯净)。
1、外在的纯净,有别于传统不锈钢管道内外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感觉,现在的超纯,洁净管道锃亮的外表,同时也有较好的内表面粗糙度, 以确保管道系统对传输的介质保持中立以及保证吹扫及清洗性能, 现在工程师及技术人员常常提及的表面粗糙度Ra 值就是对管道系统内表面粗糙度的基本要求。为了确保自动轨道焊接的质量和效率,尺寸公差当然也是基本的要求。
2、内在的纯净指纯净的材质:真正意义上的超纯, 洁净管道漂亮的内外表面是远远不够的,对管道系统的材质也有非常苛刻严格的要求,无论对化学成分和机械性能都有定义。
